MOVPE選択成長法を用いたInP系ピラー型2次元フォトニック結晶構造の作製と評価(量子効果デバイス及び関連技術)
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概要
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近年注目を集めているフォトニック結晶は、光の波長程度の周期的な屈折率変調を有した人工構造物であり、フォトニックバンドギャップを利用することにより光を自由に制御することができる。2次元フォトニック結晶は、高いアスペクト比、平滑な表面、高い均一性が必要とされる。本研究では光通信用材料であるInP系の2次元フォトニック結晶の作製を目的として、InP(111)A及び(111)B基板上へのMOVPE選択成長法によりピラー型2次元フォトニック結晶構造の作製を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-01-23
著者
-
本久 順一
北海道大学 大学院 情報科学研究科
-
福井 孝志
北海道大学情報科学研究科および量子集積エレクトロニクス研究センター
-
稲荷 将
北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター
-
竹田 潤一郎
北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター
-
竹田 潤一郎
北海道大学大学院情報科学研究科および量子集積エレクトロニクス研究センター
-
Fukui T
Research Center For Integrated Quantum Electronics Hokkaido University
-
福井 孝志
北海道大学大学院情報科学研究科
-
本久 順一
北海道大学大学院情報科学研究科
-
Fukui T
Hokkaido Univ. Sapporo Jpn
-
福井 孝志
北海道大学 大学院情報科学研究科
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