VLSIプロセスフローのコンピュータグラフィックス
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 一般社団法人情報処理学会の論文
- 1998-03-17
著者
-
増田 弘生
(株)日立製作所デバイス開発センタ
-
菅原 活郎
日本大学工学部情報工学科
-
上原 稔
日立金属
-
藤村 岳志
日本大学工学部情報工学科
-
増田 弘生
日立デバイス開発センタ
-
上原 稔
日立超LSIエンジニアリング
関連論文
- VLSI配線容量のシミュレーションと評価
- 超LSIとカーボン
- CVD薄膜生成時の反応ガス濃度分布可視化 : 化合物半導体Inp薄膜生成シュミレーションの例
- 表面保護膜応力に起因したGaAs基板内の局所的分極電荷発生とトランジスタしきい電圧変動の解析
- Siの熱酸化プロセスにおける形状・応力解析プログラムOXSIM2Dの開発
- 薄膜多層構造体応力解析プログラムSIMUS2D/Fの開発
- 3ZK-7 Moodleによる高度ICT人材育成教材の提供(教育情報システム,PBL,学生セッション,コンピュータと人間社会,情報処理学会創立50周年記念)
- 高周波プラズマ溶射プロセスによる異方性磁化膜の開発
- プロセス/デバイスシミュレータによる高速バイポーラトランジスタの性能予測
- 3次元コンピュータシミュレーションを利用したCVD装置設計 - ガスアウトレットの効果 -
- WSix-CVDプロセスの3次元装置シミュレーション
- 1. CVD レビュー序論
- TiCl_4/NH_3を原料としたTiN薄膜CVD合成の反応機構
- WSi_x-CVDプロセスの反応機構 : WF_6/SiH_4,WF_6/Si_2H_6反応系の比較
- WF_6/Si_2H_6によるWSi_xブランケットCVDのモデリングとシミュレーション
- H_2, SiH_4, Si_2H_6添加によるDCS-WSix-CVDプロセスの改善
- 4L-8 3耐故障RAIDの実装(ファイルシステム・I/O,学生セッション,アーキテクチャ,情報処理学会創立50周年記念)
- GaAs FETの周波数依存性デバイスモデルの開発
- 多層ピッチ配線特性のモデル化と実験比較
- 物理教育のギガビットネットワーク双方向配信と教育効果
- N-6 ギガビットネットワーク用教育コンテンツの制作と配信 : ストリーミング配信ソフトと教育効果(教育支援システム(1),N.教育・人文科学)
- 実験計画法を用いたMOSFETモビリティモデル最適化手法の検討
- 実験計画法を用いたMOSFETモビリティモデル最適化手法の検討
- 実験計画法を用いたMOSFETモビリティモデル最適化手法の検討
- 実験計画法を用いたMOSFETモビリティモデル最適化手法の検討
- ASICおよびMPU開発のTCAD/DA
- ASICおよびMPU開発のTCAD/DA
- TCADキャリブレーションの問題と統計手法の利用技術
- 感度解析によるCMOSプロセス設計
- TCADによる高集積0.4μmCMOS回路モデルパラメータ生成
- 多変量解析法によるMOSFET電流駆動能力に関する検討
- 有機磁性体スピン密度分布の可視化
- VLSIプロセスフローのコンピュータグラフィックス
- VLSI教育用3Dコンピュータグラフィックス : シリコン基板からクラウン型メモリセルの完成まで
- T-CAD およびその応用(シミュレーション技術の動向)
- VLSIプロセスフローのコンピュータグラフィックス
- [招待講演] VLSI開発生産におけるStatistical Metrologyの動向
- TCAD利用技術の開発と3つの課題
- 統合化とユ-ザフレンドリ-化 (超微細半導体シミュレ-ション技術--21世紀へ向けた限界への挑戦)
- VLSIデバイスシミュレ-ション (半導体シミュレ-ション技術)
- 3. 各種 CVD 薄膜形成技術 Si デバイス用薄膜
- C-3-58 光通信システムにおける半導体光導波路のシミュレーション : 半導体レーザと光ファイバの結合効率の向上
- C-3-168 光通信における光導波路のシミュレーション
- C-3-144 光通信システムにおける半導体光導波路のシミュレーション : 結合効率評価による半導体光導波路形状の最適化
- 半導体単結晶結合状態の可視化
- NdFeBスパッタ薄膜の微細加工と応用デバイス