816 微小接触荷重下の単結晶シリコンの摩擦摩耗現象に関する研究(マイクロ加工)(OS.1 生産加工・工作機械)
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概要
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To understand the influence of friction environment on the friction behavior under micro load on micro contact plane, the experiments were performed in various gases. The testpieces are single crystal silicon ball(φ 1.02mm) and wafer. When micro load is below than 1mN, the friction coefficient increases as the load decreases, while the friction cofficient increases rapidly as its value surpassing 2. The friction cofficient has no change under various gases, but there are different wear state on the surface.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-03-09
著者
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