微小接触荷重下の単結晶シリコンの摩擦磨耗現象に関する研究

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概要

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• 砥粒加工学会の論文
• 2002-01-01

著者

• 森田 昇

  富山大学大学院理工学研究部

• 森田 昇

  千葉大学工学部機械工学科

• 森田 昇

  千葉大学工学部

• 富岡 利之

  千葉大学大学院

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