30a-L-3 GTC-CVD法によるエピタキシャルAl/Si(111)界面の断面TEM観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-09-12
著者
-
平井 正明
岡山大学自然科学研究科
-
横田 康広
岡山理大理
-
横田 康広
岡山理大・理
-
日下 征彦
岡山大学自然科学研究科
-
平井 正明
岡山大理
-
日下 征彦
岡山大理
-
岩見 基弘
岡山大理
-
小林 司
日電アネルバ
-
秋山 直人
電通大
-
横田 康広
岡山理科大学・自然研
-
横田 康広
岡山理科大
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