Co/Si (100) 界面でのシリサイド化過程の断面TEM観察
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概要
著者
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横田 康広
岡山理科大学・自然科学研究所
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村井 寿生
岡山理科大学・大学院
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横田 康広
岡山理科大学・自然研
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横田 康広
岡山理科大
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横田 康広
岡山理科大学自然科学研究所
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中嶋 稔
岡山理科大学・大学院
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大塚 啓介
シンコー電器
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