低温水晶振動子を用いる真空蒸着蒸気密度の測定
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概要
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A detector consisting of a couple of cooled AT-Cut quartz crystal oscillators are proposed for measuring the density of vapor evaporated for vacuum deposition. Details on the quartz crystal oscillator operating at a low temperature of -160℃ and related experimental results obtained with zinc vapor are described.
- 山形大学の論文
- 1996-01-31
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