タンタル蒸着膜の陽極酸化
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概要
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For the purpose of an application to the thin film integrated devices, anodic oxide films of Tantalum evaporated film were experimentally investigated in detail. Thin film Tantalum capacitor was fabricated as follows Tantalum wire of 1 gr. weight was evaporated from E-type electron gun in the ultra high vacuum system having an ion and a sublimation pump. Tantalum thin films were anodized with 3% Ammonium tartrate under various conditions and were covered by alminium vacum deposited films. Then, this Ta-Ta_2O_5-Al thin film capacitor was studied mainly in its electrical characteristics such as an experimental relation between the capacitance and the thickness of oxide films, an influence leakage resistance on anodic oxdizing condititions, and its voltage breakdown characteristics.
- 山形大学の論文
- 1969-03-20
著者
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