<研究解説>異方性エッチングによるSi極微細MOSFETの作製と室温におけるクーロンブロケード振動の観測
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概要
著者
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石黒 仁揮
慶應義塾大学 理工学部 電子工学科
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藤井 呂如
東京大学生産技術研究所第3部
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生駒 俊明
(株)テキサス・インスツルメンツ筑波研究開発センタ-
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橋口 原
新日本製鐵(株)エレクトロニクス研究所
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生駒 俊明
(株)テキサス・インスツルメンツ筑波研究開発センター
-
平本 俊郎
東京大学大規模集積システム設計教育研究センター
-
石黒 仁揮
東京大学生産技術研究所第3部
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