γ-Al_2O_3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの作製と送受信特性
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概要
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- 2012-05-10
著者
-
石田 誠
豊橋技術科学大学
-
岡田 長也
本多電子株式会社
-
尾崎 勝弥
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
-
沼田 泰幸
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
-
鈴木 啓佑
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系
-
西村 将人
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系
-
赤井 大輔
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系
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