硬X線光電子分光法によるp型GaNのドライエッチングダメージ評価
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概要
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- 2010-11-04
著者
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上杉 勉
豊田中央研究所
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加地 徹
豊田中央研究所
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菊田 大悟
豊田中央研究所
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成田 哲生
豊田中央研究所
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高橋 直子
豊田中央研究所
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片岡 恵太
豊田中央研究所
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木本 康司
豊田中央研究所
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杉本 雅裕
トヨタ自動車
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