レーザアブレーション法の分子線源としての可能性
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概要
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レーザアブレーション法のMBEにおける分子線源としての可能性を検討した。11種類の元素物質を、レーザアブレーション法により基板上に堆積し、その表面状態を観察し評価した。レーザアブレーション法の持つ大きな問題点として、堆積表面での微粒子の形成がある。表面の観察の結果、高融点物質および昇華性物質は微粒子を生じないことがわかった。一方、中・低融点物質は固体のターゲットでは微粒子を形成するが、溶融したターゲットとすることで、微粒子形成を防止可能であることを見いだした。また蒸発形態の観測によりレーザアブレーション法の分子線源としての可能性を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-05-21
著者
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