界面の多層薄膜化による銅の低温接合性向上

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概要

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• 2010-03-29

著者

• 福本 信次

  大阪大学大学院

• 福本 信次

  大阪大学 大学院

• 田中 篤志

  大阪大学大学院工学研究科

• 田中 篤志

  大阪大学

• 松嶋 道也

  大阪大学 大学院

• 藤本 公三

  大阪大学 大学院

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