CS-MBD法によるGaN薄膜の製作におけるパルス状原料供給
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概要
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- 2006-09-28
著者
-
本田 徹
工学院大学大学院工学研究科
-
本田 徹
工学院大学工学部
-
杉本 浩一
工学院大学工学部電子工学科
-
澤田 勝
工学院大学工学部電子工学科
-
新井 雅俊
工学院大学工学部電子工学科
-
江川 慎一
工学院大学工学部電子工学科
-
馬場 太一
工学院大学工学部電子工学科
-
本田 徹
工学院大学
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