パラメータの微分可能性を考慮した遺伝的アルゴリズムによる物理モデルの自動合わせ込み
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概要
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本稿では, 遺伝的アルゴリズムを用いた物理モデルの自動合わせ込み手法を提案する.半導体デバイスプロセスの設計時には物理モデルによるシミュレーションが現在駆使されている.その予測が正確であるためには, 物理モデルのパラメータをあらかじめ計測した実験データと一致するように調整しておく必要がある.この工程は合わせ込みと呼ばれるが, 調整されたパラメータに微分可能性確保の制約条件があるために, 従来は自動化ができなかった.提案手法をイオン打ち込みモデルの合わせ込みに適用した結果, 制約条件をみたしつつ, 1台のPCを用いて17分, 8台のPCを用いて2分強での自動合わせ込みに成功した.この工程は従来熟練者でも数日要したことから, 大幅に作業効率, 作業コストを改善できる.
- 一般社団法人情報処理学会の論文
- 2005-05-10
著者
-
樋口 哲也
産業技術総合研究所
-
西 謙二
近畿大学工業高等専門学校
-
西 謙二
株式会社半導体先端テクノロジーズ, 基盤技術研究部
-
西 謙二
(株)半導体先端テクノロジーズ第二研究部
-
西 謙二
近畿大学高等専門学校総合システム工学科電気電子系:(現)筑波大学大学院
-
西 謙二
株式会社半導体先端テクノロジーズ(selete):(現)近畿大学工業高等専門学校
-
村川 正宏
半導体MIRAIプロジェクト,産業技術総合研究所次世代半導体研究センター
-
樋口 哲也
半導体MIRAIプロジェクト,産業技術総合研究所次世代半導体研究センター
-
小田 嘉則
株式会社半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
村川 正宏
独立行政法人産業技術総合研究所半導体miraiプロジェクト
-
樋口 哲也
独立行政法人産業技術総合研究所半導体miraiプロジェクト
-
小田 嘉則
株式会社半導体先端テクノロジーズ(selete):(現)松下電器産業株式会社
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