CO+NH_3を用いたエッチングにより形成したTMR素子

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概要

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• 2003-09-01

著者

• 福島 章雄

  産総研

• 前原 大樹

  キャノンアネルバ

• 長田 智明

  キヤノンアネルバ株式会社

• 福島 章雄

  産業技術総合研究所

• 鈴木 義茂

  産業技術総合研究所

• 前原 大樹

  アネルバ株式会社エレクトロデバイス装置事業部

• 長浜 太郎

  産業技術総合研究所

• 長濱 太郎

  産総研

• 鈴木 義茂

  電総研

• 小林 明子

  アネルバ株式会社

• 長田 智明

  アネルバ株式会社

• 原市 聡

  産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門

• 長浜 太郎

  産総研

• 原市 聡

  産総研エレ

• 鈴木 義茂

  大阪大 大学院

• 原市 聡

  産業技術総合研究所 電子光技術研究部門

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