二次元超音波アクチュエータを用いた回転リニアモータの研究 : ファジィ制御による位置決め高精度化

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概要

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• 1998-10-23

著者

• 岩附 信行

  東工大

• 森川 広一

  東工大院

• 林 巖

  東工大院

• 森川 広一

  東京工業大学

• 柴田 順二

  芝浦工大

• 鈴木 浩二

  ミツトヨ

• 木ノ内 雅人

  芝浦工大院

• 木の内 雅人

  芝工大

• 森川 広一

  東工大

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