4開口法レーザスペックル干渉計による2次元面内変位の測定 : 2次元フーリエ変換による干渉像位相の検出原理
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概要
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- 2002-10-01
著者
-
岩附 信行
東京工業大学
-
松浦 大輔
東京工業大学大学院理工学研究科
-
松浦 大輔
東工大院
-
松浦 大輔
東工大大学院
-
岩附 信行
東工大院
-
林 巌
東工大院
-
森川 広一
東工大院
-
岩村 通隆
東工大院
-
斎藤 正毅
スズキ
-
林 巌
東京工業大学精密工学研究所
-
林 巌
東京工業大学大学院理工学研究科
-
森川 広一
東京工業大学
-
林 厳
東京工業大学精密工学研究所
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