二次元超音波アクチュエータを用いた回転・リニアモータの研究 -アクチュエータ間の干渉を除去した精密位置決め-

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概要

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• 1996-03-01

著者

• 岩附 信行

  東工大

• 林 巌

  東工大院

• 柴田 順二

  芝浦工大

• 山本 亮

  東京工業大学大学院理工学研究科

• 山本 亮

  東京工大 大学院

• 山本 亮

  芝浦工大

• 鈴木 裕

  ミツトヨ

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