金属誘起固相成長法による非晶質Si_<0.6>Ge_<0.4>薄膜の結晶化機構
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概要
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- 2004-12-20
著者
-
桑野 範之
九州大学
-
板倉 賢
九州大学大学院総合理工学研究院
-
波多 聡
九大
-
桑野 範之
九州大学産学連携センター
-
Itakura M
Kyushu Univ. Fukuoka Jpn
-
板倉 賢
九州大学大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門
-
Kuwano Noriyuki
Art Science And Technology Center For Cooperative Research
-
波多 聰
九州大学大学院 総合理工学研究院 融合創造理工学部門
-
波多 聰
九州大学 大学院 総合理工学研究院
-
板倉 賢
九州大学大学院 総合理工学研究院 融合創造理工学部門
-
波多 聰
九州大学総合理工学研究院融合創造理工学部門
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