レーザアニールによるSi 薄膜溶融, 結晶化過程の実時間観測と結晶の高品質化
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2003-06-10
著者
-
波多野 睦子
日立製作所
-
波多野 睦子
(株)日立製作所
-
田井 光春
(株)日立製作所中央研究所
-
芝 健夫
(株)日立製作所中央研究所
-
GRIGOROPOULOS Costa
Department of Mechanical Engineering, University of California
-
Grigoropoulos Costa
Department Of Mechanical Engineering University Of California
-
波多野 睦子
(株)日立製作所 中央研究所
-
田井 光春
日立製作所中央研究所
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