レーザーアニールによるSi薄膜溶融, 結晶化過程に基づく高性能poly-Si結晶化技術
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概要
著者
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波多野 睦子
日立製作所
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波多野 睦子
(株)日立製作所
-
GRIGOROPOULOS Costas
Department of Mechanical Engineering, University of California
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Grigoropoulos Costas
Department Of Mechanical Engineering University Of California
-
波多野 睦子
(株)日立製作所 中央研究所
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