5インチLCD駆動用塗布型高移動度TFTアレイの開発
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概要
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半導体層、ゲート絶縁膜および保護膜が溶液プロセスにより形成された240×320×3素子からなる有機TFTアレイを対角5"基板上に試作した。素子分離加工や溶液プロセスに伴うTFT性能劣化を避けるため、3層構造保護膜を用いた。その結果、240本の走査線を持つディスプレイを駆動するに足る平均0.1cm^2/Vsの電界効果移動度と10^4以上のon/off電流比を確保することができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-07-19
著者
-
安藤 正彦
日立ケンブリッジ研究所
-
鎌田 俊英
筑波大院
-
鎌田 俊英
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
芝 健夫
(株)日立製作所中央研究所
-
植村 聖
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
川崎 昌宏
(株)日立製作所中央研究所
-
今関 周治
(株)日立製作所中央研究所
-
廣田 昇一
(株)日立製作所材料研究所
-
新井 唯
(株)日立製作所中央研究所
-
夏目 穣
旭化成(株)
-
南方 尚
旭化成(株)
-
植村 聖
独立行政法人産業技術研究所
-
鎌田 俊英
独立行政法人産業技術研究所
-
今関 周治
(株)日立製作所
-
廣田 昇一
(株)日立製作所 材料研究所
-
廣田 昇一
(株)日立製作所日立研究所
-
鎌田 俊英
産業技術総合研究所技術研究部門
-
鎌田 俊英
独立行政法人 産業技術総合研究所 光技術研究部門 有機半導体デバイスグループ
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