Si 基板上の Al 膜配向性がショットキー特性に及ぼす影響
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概要
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- 2001-12-20
著者
-
藤枝 信次
日本電気株式会社デバイスプラットフォーム研究所
-
廣瀬 和之
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部
-
廣瀬 和之
宇宙科学研
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藤枝 信次
「応用物理」編集委員会
-
藤枝 信次
Ecシリコノシステム研究所
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藤枝 信次
日本電気(株)システムデバイス研究所
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藤枝 信次
日本電気株式会社システムデバイス研究所
-
藤枝 信次
NECシリコンシステム研究所
-
三浦 喜直
NECシリコンシステム研究所
-
廣瀬 和之
宇宙科学研究所
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