ショットキー障壁形成機構と制御可能性について
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概要
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金属/半導体界面の典型的な電気特性であるショットキー障壁の形成機構について, これまでに理解されている事柄を解説する. 併せて, ショットキー障壁高さ(SBH)を制御しようという様々な試みを紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-07-14
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