極薄シリコン酸窒化膜欠陥の微視的構造の評価
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概要
著者
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藤枝 信次
日本電気株式会社デバイスプラットフォーム研究所
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藤枝 信次
「応用物理」編集委員会
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藤枝 信次
Ecシリコノシステム研究所
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藤枝 信次
日本電気(株)システムデバイス研究所
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藤枝 信次
日本電気株式会社システムデバイス研究所
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三浦 喜直
NECシステムデバイス研究所
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藤枝 信次
NECシステムデバイス研究所
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