Arイオンソフトエッチングを用いた微細接続孔内の自然酸化膜除去効果
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概要
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- 1996-10-20
著者
-
徳高 平蔵
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
岸田 悟
鳥取大学大学院工学研究科
-
岸田 悟
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
岸田 悟
鳥取大 工
-
角 博文
ソニー
-
角 博文
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ソニー(株)、セミコンダクターカンパニー、第1LSI部門、デバイス開発部
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菅野 幸保
ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
-
柳田 敏治
ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
-
徳高 平蔵
鳥取大学工学部
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