角 博文 | ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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概要
関連著者
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角 博文
ソニー
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角 博文
ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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角 博文
ソニー株式会社
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角 博文
ソニー株式会社scnイメージングデバイスカンパニー
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ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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ソニー(株)、セミコンダクターカンパニー、第1LSI部門、デバイス開発部
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ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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菅野 幸保
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井上 肇
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SASSERATH Jay
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鳥取大工学部
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Sasserath Jay
Materials Research Corporation
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高島 克巳
鳥取大工
著作論文
- ECR CVD Tiの成膜特性とコンタクト形成
- Arイオンソフトエッチングを用いた微細接続孔内の自然酸化膜除去効果
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- コリメートスパッタ法で形成したTiN膜の特性
- 12p-Y-3 AESおよびDAPS法によるSi蒸着薄膜と金属の初期界面反応