菅野 幸保 | ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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概要
関連著者
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角 博文
ソニー
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角 博文
ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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角 博文
ソニー株式会社
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角 博文
ソニー株式会社scnイメージングデバイスカンパニー
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菅野 幸保
ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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徳高 平蔵
鳥取大学工学部電気電子工学科
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岸田 悟
鳥取大学大学院工学研究科
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岸田 悟
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
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鳥取大 工
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ソニー(株) コアテクノロジー&ネットワークカンパニー Sc Ccdシステム事業部 Ccd商品部
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ソニー(株)、セミコンダクターカンパニー、第1LSI部門、デバイス開発部
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菅野 幸保
ソニー(株)、セミコンダクターカンパニー、第1LSI部門、デバイス開発部
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柳田 敏治
ソニー(株)セミコンダクターカンパニー
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徳高 平蔵
鳥取大学工学部
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角 博文
ソニー(株)セミコンダクターネットワークカンパニーイメージングデバイスカンパニーイメージセンサ技術部門開発部
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監物 秀憲
ソニー(株)セミコンタクタカンパニー第1LSI部門
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宮本 孝章
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宮本 孝章
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角 博文
ソニー半導体事業本部
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菅野 幸保
ソニー半導体事業本部
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SASSERATH Jay
Materials Research Corp.
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Sasserath Jay
Materials Research Corporation
著作論文
- ECR CVD Tiの成膜特性とコンタクト形成
- Arイオンソフトエッチングを用いた微細接続孔内の自然酸化膜除去効果
- モンテカルロシュミレーションを用いた、次世代CMOSデバイス対応ソフトエッチコンタクトプロセスの開発