野口 純司 | (株)日立製作所マイクロデバイス事業部
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概要
関連著者
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野口 純司
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部
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- 低圧W-CVDを用いたCu配線の自己整合メタルキャップ技術(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- Cu-CMPプロセスにおける欠陥がTDDB信頼度に与える影響(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- Cu配線の信頼性評価(エレクトロマイグレーションによるショート不良モード解析)