神保 智子 | (株)日立製作所マイクロデバイス事業部

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)日立製作所マイクロデバイス事業部の論文著者

関連著者

• 野口 純司

  (株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部

• 小西 信博

  (株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部

• 山田 洋平

  (株)日立製作所

• 神保 智子

  (株)日立製作所マイクロデバイス事業部

• 野口 純司

  (株)日立製作所マイクロデバイス事業部

• 野口 純司

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 野口 純司

  (株)日立製作所

• 山田 洋平

  株式会社日立製作所

• 小西 信博

  (株)日立製作所

著作論文

• Cu-CMPプロセスにおける欠陥がTDDB信頼度に与える影響(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)

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