Cu配線の信頼性評価(エレクトロマイグレーションによるショート不良モード解析)
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概要
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- 2000-04-07
著者
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宮内 正敬
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部
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野口 純司
(株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部
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野口 純司
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部
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野口 純司
(株)日立製作所デバイス開発センタ
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野口 純司
(株)日立製作所
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安田 純一
(株)日立製作所デバイス開発センタ
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樋口 裕久
(株)日立製作所デバイス開発センタ
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宮内 正敬
(株)日立製作所デバイス開発センタ
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