平山 昌樹 | 東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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概要
関連著者
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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平山 昌樹
東北大学未来科学技術共同研究センター
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平山 昌樹
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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斉藤 祐司
東北大学大学院工学研究科
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斉藤 祐司
東北大学大学院工学研究科:(現)セイコーエプソン(株)生産技術開発本部
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関根 克行
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
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須川 成利
東北大学大学院工学研究科
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海原 竜
東北大学大学院電子工学専攻
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中尾 慎一
株式会社半導体先端テクノロジーズ
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小野 泰弘
東北大学大学院工学研究科
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小野 泰弘
元東北大工
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小野 泰弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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程 イ涛
東北大学大学院工学研究科
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大嶋 一郎
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大嶋 一郎
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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東北大学大学院工学研究科
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阿久津 功
東北大学工学研究科電子工学専攻
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阿久津 功
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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セイコーエプソン株式会社
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島田 浩行
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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中尾 慎一
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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Ono Yasuhiro
Department Of Applied Physics Graduate School Of Engineering Tohoku University
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須川 成利
東北大学大学院 工学研究科
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三浦 隆治
東北大
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久保 百司
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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宮本 明
東北大学大学院 工学研究科
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久保 百司
東北大学大学院工学研究科
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大見 忠弘
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科応用化学専攻
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寺石 和夫
東北大学大学院工学研究科材料化学
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Ammal S.Salai
東北大学大学院工学研究科
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S.Sslai.C. Ammal
東北大学大学院工学研究科
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大坪 和雄
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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Aharoni Herzl
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大見 忠弘
未来科学技術共同研究センター
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小野津 崇之
東北大学大学院工学研究科材料化学専攻
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Ammal S.
東北大学大学院工学研究科材料化学専攻
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平山 祐介
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻大見研究室
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高野 晴之
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻大見研究室
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小野津 崇之
東北大 大学院
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大見 忠弘
東北大学大学院工学研究科
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三浦 隆治
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
著作論文
- マイクロ波励起高密度プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の低温形成
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- 高効率半導体生産ラインを実現する高性能バックポンプの開発
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- 低温プロセスを特徴とする低抵抗TaNx/Ta/TaNxゲート電極・Si_3N_4ゲート絶縁膜MNSFET
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- マイクロ波励起高密度Kr/O_2/N_2プラズマを用いたシリコン酸窒化膜の低温形成
- バランスト電子ドリフトマグネトロンプラズマを用いたダメージフリーエッチング技術
- マイクロ波励起Kr/O_2プラズマによるシリコン酸化膜の低温形成
- シリカ表面への希ガス照射過程に関する分子動力学的検討
- 高密度プラズマを用いたシリコン直接窒化膜の低温形成
- 高密度プラズマによる高品質シリコン直接酸化技術
- 均一水平磁場を用いた均一高密度プラズマプロセス用装置の開発