関根 克行 | 東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

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概要

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• 東北大学大学院工学研究科電子工学専攻の論文著者

関連著者

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 平山 昌樹

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 斉藤 祐司

  東北大学大学院工学研究科

• 関根 克行

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 平山 昌樹

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 斉藤 祐司

  東北大学大学院工学研究科:(現)セイコーエプソン(株)生産技術開発本部

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

• 須川 成利

  東北大学 大学院 工学研究科

• 三浦 隆治

  東北大

• 久保 百司

  東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター

• 須川 成利

  東北大学大学院工学研究科

• 宮本 明

  東北大学大学院 工学研究科

• 久保 百司

  東北大学大学院工学研究科

• 三浦 隆治

  東北大学大学院工学研究科応用化学専攻

• 寺石 和夫

  東北大学大学院工学研究科材料化学

• Ammal S.Salai

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• S.Sslai.C. Ammal

  東北大学大学院工学研究科

• 大坪 和雄

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• Aharoni Herzl

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 海原 竜

  東北大学大学院電子工学専攻

• 小野津 崇之

  東北大学大学院工学研究科材料化学専攻

• Ammal S.

  東北大学大学院工学研究科材料化学専攻

• 小野津 崇之

  東北大 大学院

• 三浦 隆治

  東北大学大学院工学研究科化学工学専攻

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著作論文

• マイクロ波励起高密度プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の低温形成
• マイクロ波励起高密度プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の低温形成
• マイクロ波励起高密度プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の低温形成
• マイクロ波励起高密度Kr/O_2/N_2プラズマを用いたシリコン酸窒化膜の低温形成
• シリカ表面への希ガス照射過程に関する分子動力学的検討
• 高密度プラズマを用いたシリコン直接窒化膜の低温形成

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