森 健壹 | 株式会社ルネサステクノロジ

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概要

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• 株式会社ルネサステクノロジの論文著者

関連著者

• 森 健壹

  株式会社ルネサステクノロジ

• 前川 和義

  ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部

• 前川 和義

  株式会社ルネサステクノロジ

• 伊藤 和博

  京大工

• 伊藤 和博

  Department Of Materials Science And Engineering Kyoto University

• 大森 和幸

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小濱 和之

  京都大学大学院工学研究科

• 伊藤 和博

  京都大学大学院工学研究科

• 村上 正紀

  学校法人立命館

• 村上 正紀

  The Ritsumeikan Trust

• 守山 実希

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

• 小濱 和之

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

• 林 岳

  (株)ルネサステクノロジ ウェハプロセス技術統括部

• 林 岳

  (株)ルネサステクノロジ

• 大崎 明彦

  三菱電機ulsi開発研究所

• 平山 誠

  三菱電機 ULSI開発研究所

• 山下 朋弘

  (株)ルネサステクノロジ

• 米田 昌弘

  (株)ルネサステクノロジ

• 栄森 貴尚

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete):(現)(株)ルネサステクノロジ

• 広瀬 幸範

  三菱電機ulsi開発研究所

• 浅井 孝祐

  (株)ルネサステクノロジ

• 小林 清輝

  東海大学

• 由上 二郎

  (株)ルネサステクノロジ

• 由上 二郎

  (株)日立製作所 中央研究所

• 尾田 秀一

  (株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部

• 西出 征男

  三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター

• 大路 譲

  株式会社日立製作所半導体事業部

• 益子 洋治

  ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部

• 益子 洋治

  三菱電機株式会社ulsi技術開発センタープロセス評価技術部

• 浅井 考祐

  (株)ルネサステクノロジ

• 前川 和義

  ルネサス テクノロジ

• 由上 二郎

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 平山 誠

  三菱電機ulsi開発研究所

• 栄森 貴尚

  (株)ルネサステクノロジ

• 大路 譲

  (株)ルネサステクノロジ

• 坂下 真介

  (株)ルネサス テクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部

• 西田 征男

  (株)ルネサス テクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部

• 森 健壱

  (株)ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部

• 小林 清輝

  株式会社ルネサステクノロジ

• 米田 昌弘

  株式会社ルネサステクノロジ

• Kumar Niranjan

  Applied Materials, Inc.

• Chu Schubert

  Applied Materials, Inc.

• Chen Samuel

  Applied Materials, Inc.

• Lai Gigi

  Applied Materials, Inc.

• Diehl Daniel

  アプライドマテリアルズジャパン

• 森 健壹

  三菱電機ULSI開発研究所

• 前川 和義

  三菱電機ULSI開発研究所

• 益子 洋治

  三菱電機ULSI開発研究所

• 大路 譲

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 宮武 浩

  株式会社ルネサステクノロジ

• 由上 二郎

  ルネサス テクノロジ

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 水野 雅夫

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 浅井 孝祐

  株式会社ルネサステクノロジ

• Lai Gigi

  Applied Materials Inc.

• Chen Samuel

  Applied Materials Inc.

• Chu Schubert

  Applied Materials Inc.

• Kumar Niranjan

  Applied Materials Inc.

• 白井 泰治

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

• 大路 譲

  半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 白井 泰治

  京都大学大学院工学研究科材料工学教室

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 水野 雅夫

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 前川 和義

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 薗林 豊

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

• 大森 和幸

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 森 健壹

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 白井 泰治

  京都大学大学院工学研究科

• 白井 泰治

  京都大学大学院

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著作論文

• フルシリサイドゲートトランジスタ閾値のゲート長依存性(半導体Si及び関連材料・評価)
• CuAl合金シードを用いたCu配線の信頼性改善
• CVD-TiN/Tiバリアメタルのコンタクトプラグプロセスへの応用
• Ti合金による自己形成バリアを用いたデュアルダマシンCu配線の特性(配線・実装技術と関連材料技術)
• Ti基自己形成バリア構造の誘電体層組成依存性(配線・実装技術と関連材料技術)

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