宮武 浩 | 株式会社ルネサステクノロジ

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概要

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関連著者

• 宮武 浩

  株式会社ルネサステクノロジ

• 興梠 隼人

  パナソニック株式会社

• 千葉原 宏幸

  株式会社ルネサステクノロジ

• 鈴木 繁

  パナソニック株式会社

• 筒江 誠

  パナソニック株式会社

• 瀬尾 光平

  パナソニックセミコンダクターエンジニアリング株式会社

• 岡 好浩

  株式会社ルネサステクノロジ

• 後藤 欣哉

  株式会社ルネサステクノロジ

• 赤澤 守昭

  株式会社ルネサステクノロジ

• 松本 晋

  パナソニック株式会社

• 上田 哲也

  パナソニック株式会社

• 藤井 治久

  奈良工業高等専門学校電気工学科

• 藤井 治久

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 浅井 孝祐

  (株)ルネサステクノロジ

• 前川 和義

  ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部

• 浅井 考祐

  (株)ルネサステクノロジ

• 前川 和義

  株式会社ルネサステクノロジ

• 森 健壹

  株式会社ルネサステクノロジ

• 伊藤 和博

  京大工

• 伊藤 和博

  Department Of Materials Science And Engineering Kyoto University

• 大森 和幸

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小濱 和之

  京都大学大学院工学研究科

• 伊藤 和博

  京都大学大学院工学研究科

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 水野 雅夫

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 浅井 孝祐

  株式会社ルネサステクノロジ

• 村上 正紀

  学校法人立命館

• 村上 正紀

  The Ritsumeikan Trust

• 守山 実希

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

• 武藤 浩隆

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 北林 宏佳

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 坂森 重則

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 宮武 浩

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 北林 宏佳

  三菱電機(株)

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 水野 雅夫

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 興梠 隼人

  パナソニック(株)セミコンダクタ一社

• 瀬尾 光平

  パナソニックセミコンダクターエンジニアリング(株)

• 松本 晋

  パナソニック(株)セミコンダクタ一社

• 鈴木 繁

  パナソニック(株)セミコンダクタ一社

• 上田 哲也

  パナソニック(株)セミコンダクタ一社

• 小濱 和之

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

• 筒江 誠

  パナソニック(株)セミコンダクタ一社

• 武藤 浩隆

  三菱電機

• 鈴木 繁

  パナソニック(株)セミコンダクター社

• 上田 哲也

  パナソニック(株)セミコンダクター社

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著作論文

• Porous Low-k膜対応Direct-CMPプロセス開発 (シリコン材料・デバイス)
• Ti合金による自己形成バリアを用いたデュアルダマシンCu配線の特性(配線・実装技術と関連材料技術)
• Porous Low-k膜対応Direct-CMPプロセス開発(配線・実装技術と関連材料技術)
• プラズマ照射に起因する熱処理後の酸化膜中残留ダメージの評価

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