前川 和義 | 株式会社ルネサステクノロジ

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概要

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• 株式会社ルネサステクノロジの論文著者

関連著者

• 前川 和義

  ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部

• 前川 和義

  株式会社ルネサステクノロジ

• 森 健壹

  株式会社ルネサステクノロジ

• 米田 昌弘

  (株)ルネサステクノロジ

• 浅井 孝祐

  (株)ルネサステクノロジ

• 小林 清輝

  東海大学

• 浅井 考祐

  (株)ルネサステクノロジ

• 小林 清輝

  株式会社ルネサステクノロジ

• 米田 昌弘

  株式会社ルネサステクノロジ

• Kumar Niranjan

  Applied Materials, Inc.

• Chu Schubert

  Applied Materials, Inc.

• Chen Samuel

  Applied Materials, Inc.

• Lai Gigi

  Applied Materials, Inc.

• Diehl Daniel

  アプライドマテリアルズジャパン

• 伊藤 和博

  京大工

• 伊藤 和博

  Department Of Materials Science And Engineering Kyoto University

• 宮武 浩

  株式会社ルネサステクノロジ

• 大森 和幸

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小濱 和之

  京都大学大学院工学研究科

• 伊藤 和博

  京都大学大学院工学研究科

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 水野 雅夫

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 浅井 孝祐

  株式会社ルネサステクノロジ

• 村上 正紀

  学校法人立命館

• Lai Gigi

  Applied Materials Inc.

• Chen Samuel

  Applied Materials Inc.

• Chu Schubert

  Applied Materials Inc.

• Kumar Niranjan

  Applied Materials Inc.

• 村上 正紀

  The Ritsumeikan Trust

• 守山 実希

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 水野 雅夫

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 小濱 和之

  京都大学大学院工学研究科材料工学専攻

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著作論文

• CuAl合金シードを用いたCu配線の信頼性改善
• Ti合金による自己形成バリアを用いたデュアルダマシンCu配線の特性(配線・実装技術と関連材料技術)

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