益子 洋治 | 三菱電機ULSI開発研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 三菱電機ULSI開発研究所の論文著者

関連著者

• 益子 洋治

  三菱電機ULSI開発研究所

• 大崎 明彦

  三菱電機ulsi開発研究所

• 平山 誠

  三菱電機 ULSI開発研究所

• 広瀬 幸範

  三菱電機ulsi開発研究所

• 木村 幹広

  三菱電機ULSI開発研究所

• 前川 和義

  ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部

• 益子 洋治

  ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部

• 益子 洋治

  三菱電機(株)ulsi開発研究所評価解析センターlsiプロセス開発第二部

• 益子 洋治

  三菱電機株式会社ulsi技術開発センタープロセス評価技術部

• 前川 和義

  ルネサス テクノロジ

• 平山 誠

  三菱電機ulsi開発研究所

• 森 健壹

  株式会社ルネサステクノロジ

• 森 健壹

  三菱電機ULSI開発研究所

• 前川 和義

  三菱電機ULSI開発研究所

• 三橋 順一

  三菱電機北伊丹製作所

• 三橋 順一

  三菱電機(株)ULSI開発研究所評価解析センターLSIプロセス開発第二部

• 木村 幹広

  三菱電機(株)ulsi開発研究所

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著作論文

• CVD-TiN/Tiバリアメタルのコンタクトプラグプロセスへの応用
• 極薄シリコン酸化膜の経時絶縁劣化(TDDD)

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