パルス高電圧に伴うグロー放電を利用したプラズマイオン注入による炭素膜の作製

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概要

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• イオン注入表層処理研究会の論文
• 2000-11-24

著者

• 石岡 邦江

  物材機構

• 石岡 邦江

  金材技研

• 北島 正弘

  物質・材料研究機構

• 石岡 邦江

  物質・材料研究機構 材料研究所

• 北島 正弘

  物材機構:筑波大

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