集束イオンビ-ムリソグラフィを用いたGaAs FETプロセスの検討 (3-5族半導体デバイスと集積回路<特集>)

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概要

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• 電子情報通信学会の論文

著者

• 佐々木 善伸

  三菱電機高周波光デバイス製作所

• 小丸 真喜雄

  三菱電機高周波光デバイス製作所

• 小丸 真喜雄

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

• 森本 博明

  三菱電機 Lsi研

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