リソグラフィ-への応用 (集束イオンビ-ムを用いた微細加工技術(技術ノ-ト))

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 応用物理学会の論文

著者

• 森本 博明

  三菱電機 Lsi研

関連論文

• 集束イオンビ-ムリソグラフィを用いたGaAs FETプロセスの検討 (3-5族半導体デバイスと集積回路)
• リソグラフィ-への応用 (集束イオンビ-ムを用いた微細加工技術(技術ノ-ト))

スポンサーリンク