森本 博明 | 三菱電機 Lsi研

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概要

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• 同名の論文著者
• 三菱電機 Lsi研の論文著者

関連著者

• 森本 博明

  三菱電機 Lsi研

• 佐々木 善伸

  三菱電機高周波光デバイス製作所

• 小丸 真喜雄

  三菱電機高周波光デバイス製作所

• 小丸 真喜雄

  三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所

著作論文

• 集束イオンビ-ムリソグラフィを用いたGaAs FETプロセスの検討 (3-5族半導体デバイスと集積回路)
• リソグラフィ-への応用 (集束イオンビ-ムを用いた微細加工技術(技術ノ-ト))

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