特集3 : 研究解説 : 超微細砥粒を用いたナノメータ研削
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概要
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特集 生産加工プロセスの先進技術ナノメータオーダの仕上げ面粗さを得るためには，非常に微細な砥粒を用いて研削を行うことが有効な手段である．しかし，超微細砥粒を使用すると，均質な砥石を製作できない．目づまりがしやすいのなどの問題点が生じる．そこで，著者らは電気泳動付着現象を利用することにより，これらの問題点を解決した．均質な超微粒砥石を開発するとともに，鏡面の切断面が得られるチッピングフリー研削切断法を開発した．
- 2011-10-06
著者
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