プラズマ励起原子層堆積法による室温酸化チタン成膜(簿膜プロセス・材料,一般)
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概要
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我々はtetrakis(dimethylamino)titanium(TDMAT)とプラズマ励起水蒸気を用いたチタン酸化膜の室温原子層堆積法を開発した。プラズマ励起水蒸気は酸化チタン表面に吸着したTDMATを効果的に酸化すると同時にTDMATの吸着サイトとなるOH基を室温で成長表面上に形成する。本方法では、チタン酸化膜の成長速度は室温において0.157nm/cycleと測定された。またチタン酸化膜の室温原子層堆積における反応素過程を多重内部反射赤外吸収分光法(MIR-IRAS)によって評価し、チタン酸化膜の室温原子層堆積プロセスの設計のために有用な知見が得られたので報告する。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-10-17
著者
-
鹿又 健作
山形大学大学院理工学研究科
-
鈴木 貴彦
山形大学大学院理工学研究科
-
久保田 繁
山形大学大学院理工学研究科
-
廣瀬 文彦
山形大学大学院 理工学研究科
-
籾山 克章
山形大学大学院 理工学研究科
-
大場 尚志
山形大学大学院理工学研究科
-
平原 和弘
山形大学大学院理工学研究科
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