プリンテッド集積回路に向けた積層型論理素子の作製(招待講演,有機ナノ材料・構造制御,デバイス応用,一般)
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概要
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本研究では、活性層および絶縁層に塗布可能材料を用いた積層型論理回路を作製し、その基礎特性を評価した。積層型論理回路は、トップゲート構造のZnO-TFT (nチャネル)の上にゲート電極を共有したボトムゲート構造のTIPS-pentacene TFT (pチャネル)を積層することで作製した。絶縁膜には、塗布可能材料である光硬化型シリコーン樹脂を使用した。作製した素子は、典型的な論理回路動作を示した。この積層型構造は、従来の基板上に平面的に作製した論理回路に比べ、素子表面積の縮小や配線長の短縮、活性層の塗り分けの容易化などの効果が期待できる。
- 2013-06-27
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