超音波振動導入回転引上げ法によるIII-V族半導体のバルク結晶成長(I)(ソノケミストリーの新しい展開)

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概要

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• 日本ソノケミストリー学会の論文
• 1992-10-16

著者

• 早川 泰弘

  静岡大学電子工学研究所

• 熊川 征司

  静岡大学電子工学研究所

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