222 AIP法で生成したTiN膜の残留応力の熱的特性(微小材料,薄膜,局所応力,応力評価と材料強度,オーガナイスドセッション3)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2009-05-22
著者
-
英 崇夫
徳島大学創成学習開発センター
-
英 崇夫
徳島大学
-
日下 一也
徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部
-
日下 一也
徳島大
-
日下 一也
徳島大学
-
小濱 達也
徳島大学
-
小濱 達也
徳島大学[院]
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