TiNおよびTiAlN薄膜の応力のX線的評価

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概要

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著者

• 英 崇夫

  徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部

• 英 崇夫

  徳島大学創成学習開発センター

• 日下 一也

  徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部

• 日下 一也

  徳島大

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• アーク・イオンプレーティングによって形成された硬質積層薄膜における残留応力の熱緩和
• 第2回工学教育に関するアジア会議(ACEE 2011)を開催して
• 学生による自主コミュニケーション活動

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