232 放射光を用いた TiAlN と TiN の単層, 2 層および積層膜の残留応力測定
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-10-10
著者
-
西田 真之
神戸高専
-
英 崇夫
徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部
-
松英 達也
新居浜工業高等専門学校環境材料工学科
-
松英 達也
新居浜高専
-
英 崇夫
徳大工
-
日下 一也
徳大工
-
松英 達也
新居浜工業高等専門学校材料工学科
-
西田 真之
神戸市立工業高等専門学校
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