303 粉末ターゲットを用いたスパッタリング法で生成したGaN膜の残留応力評価(機能性材料の残留応力評価)(残留応力の評価と適用)(オーガナイスドセツション2)

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文
• 2003-05-16

著者

• 英 崇夫

  徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部

• 富永 喜久雄

  徳島大工

• 日下 一也

  徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部

• 日下 一也

  徳島大工

• 英 崇夫

  徳島大工

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